sakaguchi ExLASER?是一種多功能激光平面瞬時(shí)加熱裝置。
2018-07-18 15:15:02
應(yīng)用實(shí)例
- 經(jīng)驗(yàn)的例子
- 激光加熱實(shí)驗(yàn)
- 標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格
- 選項(xiàng)*我們將根據(jù)您的要求制造
- 目錄
應(yīng)用實(shí)例
MBE設(shè)備的基板加熱
晶圓退火（SiC，GaAS等）
可以對(duì)多層器件進(jìn)行表面退火（與小型化器件兼容）
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經(jīng)驗(yàn)的例子
日本原子能機(jī)構(gòu)，日本原子能研究開(kāi)發(fā)機(jī)構(gòu)
激光輸出：100 W
主體尺寸：H251×W200×D253（mm）
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激光加熱實(shí)驗(yàn)
EXL-CT-010DS55用于激光加熱置于真空室中的樣品。從樣品的背面（與激光照射側(cè)相反的一側(cè)）測(cè)量溫度分布。
1.藍(lán)寶石襯底（φ2英寸）---適用于透明基板
溫度分布
藍(lán)寶石襯底的溫度分布
（激光輸出：1000 W）
快速升溫/降溫
藍(lán)寶石襯底快速上升/下降溫度（平均襯底溫度）
（激光輸出：1000 W）
2.溫度斜坡---使用組合光學(xué)系統(tǒng)
溫度分布
金屬板的溫度分布
（激光輸出：86 W聚光）
溫度梯度圖
金屬板的溫度梯度
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標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格
| 型號(hào)：EXL-CT-010-DS55 | |||
|---|---|---|---|
| 激光照射方法 | 直接型 | 體型 | H 625 mm×W 700 mm×D 320 mm |
| 激光輸出 | 最大1千瓦 | 附件 | 專用冷水機(jī)組 |
| 激光波長(zhǎng) | 808納米 | 額定 | 閥體：1P 200 V 20 A 冷卻器：1 P 200 V 15 A. |
| 激光形狀 | 一個(gè)正方形 | ||
| 光學(xué)系統(tǒng)（均勻性） | 均質(zhì)機(jī)（±5％） | 備注 | JST原始建模 開(kāi)發(fā)產(chǎn)品（2005財(cái)年） |
| 暖氣區(qū) | □55毫米 | ||
| 工作距離 | 400毫米 - | ||
※以上是標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格。可以根據(jù)客戶的要求進(jìn)行更改。
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選項(xiàng)*我們將根據(jù)您的要求制造
真空室
溫度控制器
·輻射溫度計(jì)
·數(shù)字顯示控制器
·紅外傳輸窗口基板支架（適用于2英寸基板）
組合光學(xué)系統(tǒng)，專用板支架（□10 mm基板兼容）
各種基板（藍(lán)寶石，硅，GaAs等）
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目錄
在這里，您可以看到ExLASER?的目錄（PDF）。
目錄（PDF）日文
目錄（PDF）英文
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