日本廠家 HORIBA 堀場 電率計 HE-480C-GC 高穩(wěn)定性
2024-12-03 10:51:07
fujino
半導(dǎo)體用面板支架48/96系列
HE-480C-GC
0-9999μS/cm（溫度補(bǔ)償前）
HE-960LC
0-10000μS/cm（溫度補(bǔ)償前）
HE-960LF
FS-09F-1/2
0-10000μS/cm（溫度補(bǔ)償前）
※最適合粘性高的樣品液（CMP Slurry等）
HE-960HC
0-1000mS/cm（溫度補(bǔ)償前）
平面碳傳感器導(dǎo)電率計
HE-960LF / FS-09F-1/2
是最適合采用耐化學(xué)藥品性高的扁平碳傳感器的漿料濃度管理的導(dǎo)電率計。
通過維持適當(dāng)?shù)膶?dǎo)電率值，保持漿料的稀釋程度一定，為晶片研磨工序的穩(wěn)定化做出貢獻(xiàn)。
特征
高穩(wěn)定性
測量范圍為0～2,000μS/cm和0～10,000μS/cm，重復(fù)性分別為±0.5%F/S和±1.0%F/S，具有高穩(wěn)定性。
規(guī)格
■指示轉(zhuǎn)換器
| 產(chǎn)品名稱 | 電導(dǎo)率儀 | |||
|---|---|---|---|---|
| 模型 | HE-960LF | |||
| 測量方法 | 2 電極電導(dǎo)率測量 | |||
| 溫度傳感器規(guī)格 | 測溫電阻1000Ω（0℃時） | |||
| 測量范圍 | 電池常數(shù) | 0.1/cm時 | 1.0/cm時 | |
| 電導(dǎo)率儀 | 0.00～20.00μS/cm | 0.0～200.0μS/cm | ||
| 0.0～200.0μS/cm | 0～2000μS/cm | |||
| 0～1000μS/cm | 0～10000μS/cm | |||
| *通過改變溫度補(bǔ)償前的電導(dǎo)率測量范圍設(shè)置來切換范圍 | ||||
| 溫度 | 0～100℃ 但根據(jù)傳感器規(guī)格（小數(shù)點后可選擇1位或2位） | |||
| 濃度換算 | 可選 1、2 | 0至10.000%（轉(zhuǎn)換公式由用戶設(shè)定） | ||
| 重復(fù)性 | 電池常數(shù) | 0.1/cm時 | 1.0/cm時 | |
| 電導(dǎo)率 | 0.00～20.00μS/cm量程 | 0.0～200.0μS/cm范圍 | ±0.5% 滿量程以內(nèi) | |
| 0.0～200.0μS/cm范圍 | 0～2000μS/cm范圍 | |||
| 0～1000μS/cm范圍 | 0～10000μS/cm范圍 | ±1.0%滿量程以內(nèi) | ||
| 溫度 | ±0.5℃以內(nèi) | |||
| 狀況 | 具有等效輸入 | |||
| 線性度 | 電池常數(shù) | 0.1/cm時 | 1.0/cm時 | |
| 電導(dǎo)率 | 0.00～20.00μS/cm量程 | 0.0～200.0μS/cm范圍 | ±0.5% 滿量程以內(nèi) | |
| 0.0～200.0μS/cm范圍 | 0～2000μS/cm范圍 | |||
| 0～1000μS/cm范圍 | 0～10000μS/cm范圍 | ±1.0%滿量程以內(nèi) | ||
| 溫度 | ±0.5℃以內(nèi) | |||
| 任意濃度 | 具有等效輸入 | |||
| 變速輸出 | 輸出點數(shù)：4點 DC4-20mA/0-20mA 輸入輸出隔離型 最大負(fù)載電阻：900Ω 變送輸出范圍：在測量范圍內(nèi)任意設(shè)定 （各變送輸出負(fù)端內(nèi)部連接，具有相同的潛力） | |||
| 接點輸出 | 輸出點數(shù)：5點 報警接點輸出（R1至R4） 接點類型：繼電器接點、SPST（1a） 接點容量：AC 240 V 1 A、DC 30 V 1 A （電阻負(fù)載） 接點功能：各測量對象的上下限動作（ON/OFF 控制）、延遲時間 接點動作：動作時間、常開（包括斷電） （但是，R1、R2、R3 與公共觸點） 報警觸點形式：繼電器觸點，SPST（1c） 觸點容量：AC 240 V 1 A，DC 30 V 1 A （阻性負(fù)載） 接點功能：錯誤、異常報警、維護(hù)中選擇 接點動作：C與NO之間使用時，正常時閉合，異常時（包括停電）時打開 ?（C與NC之間使用時，接點狀態(tài)相反） ） ?（不過R4和RF是通用的聯(lián)系COMMON） | |||
| 接點輸入 | 輸入點數(shù)：1點 | |||
| 輸入形式：集電極開路無電壓a接點 | ||||
| 接點功能：傳送輸出保持 | ||||
| 通訊輸出 | RS-485輸入/輸出 | |||
| 校準(zhǔn)功能 | 通過輸入電導(dǎo)池常數(shù)校正系數(shù)（參數(shù)輸入） 與溫度參考溫度計進(jìn)行比較校準(zhǔn) | |||
| 傳送輸出保持功能 | 選擇前一個值保持或任意值保持 （但是，在維護(hù)模式下，將保持前一個值） | |||
| 自診斷功能 | 傳感器診斷（溫度傳感器短路、溫度傳感器斷線）轉(zhuǎn)換器故障 | |||
| 電導(dǎo)率溫度補(bǔ)償 | ●輸入任意溫度系數(shù)（參考溫度：5～95℃，溫度系數(shù)：0～5%/℃） ●輸入任意溫度補(bǔ)償公式（補(bǔ)償公式由用戶設(shè)定） ●無溫度補(bǔ)償 | |||
| 溫度補(bǔ)償范圍 | 0～100℃（但0℃以下、100℃以上時計算范圍擴(kuò)大） | |||
| 環(huán)境溫度 | 5～45℃ | |||
| 相對溫度 | -25～65℃ | |||
| 電源 | 額定電壓 DC24V 10W（最大） | |||
| 結(jié)構(gòu) | 面板安裝 室內(nèi)安裝類型 面板外殼：ABS，端子部分：PBT 面板部分防滴結(jié)構(gòu) | |||
| 兼容標(biāo)準(zhǔn) | CE標(biāo)志 | EMC 指令：EN61326-1 | ||
| FCC法規(guī) | FCC 第 15 部分 | |||
| 重量 | 約550克 | |||
| 外形尺寸 | 96（寬）× 96（高）× 115（深）毫米 外殼深度：約 105 毫米（安裝在面板上時） | |||
| 兼容傳感器 | FS-09F-1/2 | |||
傳感器
| 格式 | FS-09F-1/2 | FS-09F-1/2-200 |
|---|---|---|
| 液接部材料 | 玻碳 PFA Kalrez? | |
| 配管尺寸 | 1/2 英寸 | |
| 樣品流速 | 0～10L/min的流量沒有影響 ，但要保證樣液更換所需的流量和溫度。 | |
| 樣品壓力 | 0～0.3MPa 但20～30℃ | |
| 樣品溫度 | 如果環(huán)境溫度20～30℃ 與液體溫度相差5℃，就會出現(xiàn)1℃左右的測量誤差。 | |
| 電纜長度 | 約3.5m | |