廣州總代，昭和科學除震臺顯微鏡用，ID-6085 ID-6085 昭和科學
昭和科學廣州代理，日本昭和科學廣州代理，.，昭和科學廣州代理 1．被動式除振臺的界限 被動式除振臺通過彈簧來支撐重量，通過吸振器來抑制振動。是一種通過簡單構造獲得卓越效果的除振方法。特別是空氣彈簧式除振臺，很輕松就能得到非常低的固有振動數，通過與自動級別調整器的組合，即使負載發生變化，也很少出現級別變動，因此被廣泛使用。 但是，也有這種空氣
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被動式除振臺通過彈簧來支撐重量，通過吸振器來抑制振動。是一種通過簡單構造獲得卓越效果的除振方法。特別是空氣彈簧式除振臺，很輕松就能得到非常低的固有振動數，通過與自動級別調整器的組合，即使負載發生變化，也很少出現級別變動，因此被廣泛使用。
但是，也有這種空氣彈簧式除振臺沒有辦法對應的問題。
被動式除振臺會出現共振現象。在這個周波數領域里，除振對象的振動會大于地面振動，導致無法達到除振效果。
一般來說，因為 "地面上低周波數的振動很少"，所以可以盡可能的通過使用低固有振動數的空氣彈簧， 來減小共振現象所帶來的負面影響。但是低固有振動數的空氣彈簧也會出現問題。
低固有振動數通過減小彈簧恒數就能獲得，但是這種做法會導致除振對象由于受到較小的外力而出現很大的變位。而且振動的衰減時間會增加。
類似平臺的移動負載出現作用的時候，除振臺就開始不停晃動，產生超出空氣彈簧允許范圍的變位、接觸等，導致出現振動。
圖 1 主動式除振臺的工作原理
2．主動式除振臺的原理
主動式除振臺設有振動與位置變動的傳感器，可以指揮促動機減小出現的振動以及位置變化。這就是前饋控制（ FB控制）
這樣一來，必然出現在被動式除振臺的共振現象就消失了。（參照圖 2）可以使來自外部的振動影響在短時間內減弱。而且通過使促動機輸出平衡，也能使施加于面盤上的扭轉負載減小。
更進一步說，當地面振動轉達到除振對象并使其振動的同時，促動機就會輸出由放置在地面的傳感器所傳達來的力度，以此減小除振臺上的振動。
這就是落地前饋控制（ FFF控制）。
與 FB控制一起使用的話，就能更進一步減少除振臺上的振動。（參照圖2）
除振臺上常常搭載類似于平臺的移動物。
高質量的移動會導致出現質量與距離的積成比例的回轉力矩。還會導致出現質量與加速度的積成比例的加振力。如果知道移動物的位置與加速度的話，只要產生于此成比例的力與力矩，就能大幅度減低除振對象物的移動負載的影響。這就是平臺前饋控制（ SFF控制）。
VAAV主動式除振臺可以同時進行這3種控制。
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